超临界后处理
重新定义元件可靠性

以超临界流体技术,为 MLCC 与半导体器件
带来更高可靠性、更低缺陷率。

核心技术

超临界流体后处理工艺

利用超临界流体兼具气体的渗透性与液体的溶解力, 在低温下深入材料微观结构,完成清洁、修复与改性,且无残留。

技术示意图 · 待替换为真实图片

应用领域

一项技术,多重价值

从被动元件到半导体,超临界后处理已在多个环节展现潜力。

应用场景图 · 待替换为真实图片

覆盖关键制造环节

01

半导体器件缺陷修复

以超临界流体在低温下完成半导体器件的缺陷修复与表面钝化,降低损伤风险,提升良率与可靠性,适配先进制程需求。

02

MLCC 可靠性提升

针对成品 MLCC 进行超临界后处理,改善内部缺陷与界面,提升耐压与寿命可靠性。

03

陶瓷粉体处理

对陶瓷粉体进行表面改性与清洁,提升分散性与一致性,为高端介质材料打基础。

为什么选择超临界

低温
远低于传统热处理温度
具体参数待补充
无残留
处理后清洁、无溶剂残留
具体参数待补充
深渗透
深入微观结构均匀作用
具体参数待补充
洁元超芯首席科学家 张冠张教授

首席科学家

张冠张 教授

北京大学(深圳研究生院)信息工程学院 长聘副教授 · 博士生导师

师从世界半导体器件物理泰斗、浮栅存储器发明人施敏院士,于国立中山大学获博士学位。长期深耕半导体器件与材料前沿,是洁元超芯超临界技术的核心奠基者。

  • 师从半导体泰斗 施敏院士(浮栅存储器发明人)
  • 研究方向:超临界流体技术 · 新型存储器 · 神经形态器件 · 薄膜晶体管
  • 持有中国及美国发明专利 40 余项
  • 主持国家自然科学基金等多项国家级科研项目
洁元超芯技术核心 李蕾博士

技术核心

李蕾 博士

深圳技术大学 集成电路与光电芯片学院 助理教授

复旦大学理学博士,深耕光电半导体器件与超临界流体技术,兼具北京大学科研与 Cadence 产业研发经历。

  • 复旦大学 理学博士;历任北京大学博士后、北京大学深圳研究生院助理研究员
  • 曾任 EDA 巨头 Cadence 资深产品工程师
  • 研究方向:超临界流体 · 光电半导体器件 · 生物神经形态电子
  • 2024 年深圳市优秀科技创新人才(优青)· 发明专利 17 项

关于洁元超芯

让先进材料更可靠

洁元超芯专注于超临界流体后处理技术的产业化, 服务于 MLCC、陶瓷粉体与半导体等高可靠性场景。
(公司简介为占位文案,待您提供正式介绍)

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公司深圳市洁元超芯科技有限公司
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