超临界后处理重新定义
元件可靠性

以超临界流体技术,为 MLCC 与半导体器件
带来更高可靠性、更低缺陷率。

超临界半导体处理设备 · 整机主视

晶圆修复服务

让低良率晶圆,
重获价值。

面向特定电性异常及未达标晶圆,开展修复可行性评估与样片处理验证,帮助客户判断批次的潜在恢复价值。

库存晶圆评估

结合批次资料与现有测试结果,评估进一步处理的可行性,寻找值得继续验证的机会。

电性修复验证

针对具体异常开展样片处理,以约定条件下的复测结果,评估电学表现的改善情况。

后续批次合作

在样片验证与验收要求明确后,共同评估后续处理方案,逐步推进适合的批次合作。

核心技术

超临界流体后处理工艺

利用超临界流体兼具气体的渗透性与液体的溶解力, 在低温下深入材料微观结构,完成清洁、修复与改性,且无残留。

超临界流体后处理工艺 · 晶圆载具

应用领域

一项技术,多重价值

从被动元件到半导体,超临界后处理已在多个环节展现潜力。

1

阻变存储器

氧化 + 钝化

2

薄膜晶体管

氧化 + 钝化

3

太阳能电池

氧化 + 钝化

4

宽禁带半导体GaN / SiC / GaO

氮化 + 消除缺陷

5

2-D Materials

硫化

6

有机物材料与器件

脱除 + 纯化

覆盖关键制造环节

01

半导体器件缺陷修复

以超临界流体在低温下完成半导体器件的缺陷修复与表面钝化,降低损伤风险,提升良率与可靠性,适配先进制程需求。

02

MLCC 可靠性提升

针对成品 MLCC 进行超临界后处理,改善内部缺陷与界面,提升耐压与寿命可靠性。

03

陶瓷粉体处理

对陶瓷粉体进行表面改性与清洁,提升分散性与一致性,为高端介质材料打基础。

为什么选择超临界

低温
远低于传统热处理温度
无残留
处理后清洁、无溶剂残留
深渗透
深入微观结构均匀作用

评估与验证

修复价值,
由验证结果说明。

围绕双方确认的测试条件与验收标准,对比处理前后的电学表现,评估修复效果与后续应用价值。

沟通您的评估需求
  1. 确认评估基线

    明确异常表现、样品范围与评估目标,建立可供比较的处理前记录。

  2. 对照处理与复测

    按约定方案对照测试,关注新增合格芯片及原有合格芯片的保持情况。

  3. 可靠性评估

    结合产品应用要求,共同确认所需的验证范围、测试条件与执行安排。

  4. 判断批次价值

    综合验证结果与后续处理成本,讨论批次应用价值及下一步合作。

洁元超芯首席科学家 张冠张教授

首席科学家

张冠张 教授

北京大学(深圳研究生院)信息工程学院 长聘副教授 · 博士生导师

师从世界半导体器件物理泰斗、浮栅存储器发明人施敏院士,于国立中山大学获博士学位。长期深耕半导体器件与材料前沿,是洁元超芯超临界技术的核心奠基者。

  • 师从半导体泰斗 施敏院士(浮栅存储器发明人)
  • 研究方向:超临界流体技术 · 新型存储器 · 神经形态器件 · 薄膜晶体管
  • 持有中国及美国发明专利 40 余项
  • 主持国家自然科学基金等多项国家级科研项目
洁元超芯技术核心 李蕾博士

技术核心

李蕾 博士

深圳技术大学 集成电路与光电芯片学院 助理教授

复旦大学理学博士,深耕光电半导体器件与超临界流体技术,兼具北京大学科研与 Cadence 产业研发经历。

  • 复旦大学 理学博士;历任北京大学博士后、北京大学深圳研究生院助理研究员
  • 曾任 EDA 巨头 Cadence 资深产品工程师
  • 研究方向:超临界流体 · 光电半导体器件 · 生物神经形态电子
  • 2024 年深圳市优秀科技创新人才(优青)· 发明专利 17 项
暗淡蓝点 · 旅行者一号从 60 亿公里外回望地球
暗淡蓝点 旅行者一号 · 1990
右侧光带中那个几乎看不见的小白点,就是地球

我们的视角

越是微小,
越值得被看见,被修复

1990 年,旅行者一号在飞出太阳系前回望,拍下了那张照片——一粒悬浮在阳光中的、淡蓝色的微尘。那就是地球,承载着我们的一切。

我们所专注的世界更小。小到一个原子的空位、一根悬挂的化学键,就足以让一整颗芯片失效。

别人向前,追逐更小、更快;我们回头,去修复那些被忽略的、本可以挽回的缺陷。

“在这片苍茫之中,没有任何迹象表明会有谁前来,从我们自己手中拯救我们。”

— 卡尔 · 萨根 Carl Sagan,《暗淡蓝点》

洁元超芯 · 微观宇宙的修复者

关于洁元超芯

让先进材料更可靠

洁元超芯专注于超临界流体后处理技术的产业化,把超临界技术从实验室推向规模化生产,服务于 MLCC、陶瓷粉体与半导体器件等高可靠性场景。

依托完全自主研发与制造的超临界后处理设备,我们在核心工艺上实现关键突破:不止于清洁,更能完成半导体器件的缺陷修复与表面钝化——这是传统清洗与后处理设备难以覆盖的能力。设备性能对标国际一线厂商并在关键指标上实现超越,助力客户在先进制程与高可靠性应用中赢得先机。

核心技术自主可控完全自主研发与制造
独有器件修复能力缺陷修复 + 表面钝化
对标国际领先关键指标实现超越

What I cannot create,
I do not understand.

凡我不能创造的,我便未能真正理解。

— 理查德 · 费曼 Richard Feynman

合作评估

从一个待评估批次开始。

先介绍晶圆类型、主要异常与数量范围,
我们将与您沟通评估所需资料及后续安排。

  1. 沟通需求

    了解批次情况,确认初步评估所需信息。

  2. 样片验证

    商定样片安排、测试方案与验收要求。

  3. 后续合作

    依据验证结果,讨论后续批次处理。

评估前,准备这些。

  • 批次概况

    产品类别、晶圆类型与大致数量,帮助我们了解待评估批次。

  • 异常与测试情况

    简要介绍主要异常表现,以及目前掌握的测试情况。

  • 评估目标

    说明希望改善的表现与后续需求,便于共同确定评估重点。

初次沟通提供基本信息即可。详细测试数据与敏感产品资料,在后续保密沟通中按需交换。

留下联系方式。

我们将与您联系,了解晶圆修复评估需求。

接收邮箱 zilong@jieyuanchaoxin.com

提交的信息将发送至洁元超芯联系邮箱,仅用于本次业务沟通。请勿填写敏感工艺资料。

联系我们

期待与您探讨合作可能。

公司深圳市洁元超芯科技有限公司
地址深圳市南山区西丽镇丽水路 2199 号 北京大学深圳校区 超临界材料与电子实验室